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半導體制造過程中曝光過程的控制用紫外線傳感器UV-300K介紹分析

  • 發(fā)布日期:2024-10-28      瀏覽次數:166
    • 半導體制造過程中曝光過程的控制用紫外線傳感器UV-300K介紹分析

      用于生產線的高性能紫外線傳感器 由高度耐用的紫外-可見波長轉換玻璃制成
      持續(xù)監(jiān)測是否有一定量的光線照射在其上的紫外線傳感器。您可以監(jiān)控燈泡老化情況和不亮燈情況,并適當管理燈泡更換。
      通過反饋燈的光強度變化來穩(wěn)定光強度。
      配備兩種工作模式:光強模式和積分模式。另外,模擬輸出標配電壓1~5V/電流4~20mA。此外,還配備了通過示教設置靈敏度和應答功能。

      image.png


      使用示例

      • 曝光設備

        曝光設備

      •  

      • 滅菌、殺菌

        滅菌、殺菌


      使用目的

      紫外線傳感器廣泛用于多種用途,包括工業(yè)過程控制、質量控制、安全改進、效率和環(huán)境保護。

      • 半導體制造設備:半導體制造過程中曝光過程的控制

      • 水處理:水殺菌、殺菌過程中紫外線的管理

      • UV 固化:使用 UV 固化粘合劑進行過程控制

      • 照明:磁粉探傷中紫外光的監(jiān)測

      • 印刷:驗證紫外線是否正確固化油墨和涂料

      • 空氣凈化:食品工廠等紫外線空氣凈化的光強度控制。

      • 薄膜:表面改性的紫外線管理

      放大器本體規(guī)格

      格式紫外-300K
      運行指示燈紅色LED(檢測輸出ON時亮起)
      測量光量范圍*UV-T254、UV-T365、UV-L、UV-S
      [254nm] 0.1 至 30mW/cm2,使用高靈敏度頭時:0.01 至 3mW/cm2
      [365nm] 3 至 900mW/cm2,使用高靈敏度頭時光頭:0.3~90mW/cm2
      UV-T405
      [405nm] 300~9,000mW/cm2
      外部示教輸入
      外部復位輸入
      ON:0~1.5V(0V短路電流1mA以下)
      OFF:開路或4~30V
      光量值顯示(相對值)3位LED
      光強模式:0-125%
      積分模式:0-200%
      檢測輸出
      應答輸出
      NPN集電極開路(DC30V、100mA以下)
      模擬輸出電壓/電流切換
      1~5V (0~100%, 6V/125%)
      4~20mA (0~100%, 24mA/125%)
      檢測輸出
      閾值設置
      通過開關以 1% 為單位進行設置
      光強度模式:10 至 100%
      積分模式:10 至 200%
      靈敏度設置示教(設置為100%值)
      最小靈敏度、最大靈敏度、零點設置
      電纜0.15mm2 屏蔽7芯
      橡膠電纜 φ5.5mm x 2m
      重復性±2%FS以下
      溫度漂移0.1%FS/℃以下
      使用環(huán)境溫度:-25~+55℃/35~85%RH(不凝露、不結冰)
      電源電壓DC12~24V±10%(紋波P-P10%以下)
      響應時間300ms以下
      消耗電流50mA以下(不包括輸出電流)
      大量的約140克

      * 254nm:Oak Manufacturing UV-M02 (UV-25) 365nm:Ushio Inc. UIT-101 (UVD-365PD) 405nm:Oak Manufacturing UV-42

      傳感頭規(guī)格

      格式※紫外-T405紫外-T365紫外-T254紫外線紫外光
      特征耐熱長袖短袖
      監(jiān)測波長范圍200~330nm、360~420nm、455~476nm、517~600nm300~380nm170~380nm
      溫度漂移-0.3%/℃以下(at254nm)
      -0.1%/℃以下(at365nm)
      -0.06%/℃以下(at405nm)
      -0.1%/℃以下
      使用環(huán)境溫度:-40~+300℃/ 35~85% RH(不凝露、不結冰)溫度:-40~+150℃/ 35~85% RH(不凝露、不結冰)
      材料紫外可見波長轉換玻璃,SUS
      配件M6螺母、墊圈

      * UV-T365和UV-T254具有高靈敏度頭UV-T365W和UV-T254W。

      導光板規(guī)格

      格式紫外光紫外線F
      特征耐熱自由剪裁
      使用環(huán)境溫度:-40~+300℃/ 35~85% RH(不凝露、不結冰)溫度:-40~+70℃/ 35~85% RH(無凝露、無凍結)
      儲存溫度-40~+70℃
      全長2m(帶防紫外線管)2m(前端有1m紫外線防護管)
      材料多組分玻璃,SUS丙烯酸、聚乙烯、SUS

      *放大器插入部分的耐熱溫度為+70℃

      外觀圖

      • 放大器 [UV-300K]

        放大器

      •  

      • 耐熱傳感頭[UV-T254、T405(無黑玻璃)/UV-T365]

        耐熱傳感器頭

      •  

      • 傳感頭[UV-S(L=50±1)/UV-L(L=100±1)]

        傳感頭

      •  

      • 光導 [UV-H(上)/UV-F(下)]

        光導


    聯系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流
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