超高溫臺(tái)式多氣氛實(shí)驗(yàn)爐TE系列的特點(diǎn)

發(fā)布日期：2023-03-24      瀏覽次數(shù)：547

超高溫臺(tái)式多氣氛實(shí)驗(yàn)爐TE系列的特點(diǎn)

超高溫臺(tái)式多氣氛實(shí)驗(yàn)爐[熱邊]最高2000°C

這是一款臺(tái)式超高溫多氣氛實(shí)驗(yàn)爐，可處理氮?dú)?、氧氣、氦氣、氬氣、氫氣等各種氣氛。

C/C復(fù)合加熱器	最高2000°C
碳化硅3涂層加熱器	最高1600°C
TiC3涂層加熱器	最高2100°C













TE系列超高溫臺(tái)式多氣氛實(shí)驗(yàn)爐“熱邊"電爐從抽真空、吹掃到排氣的操作是PLC半自動(dòng)式的。 沒有手動(dòng)打開和關(guān)閉閥門等復(fù)雜操作，并且可以通過觸摸面板進(jìn)行集中管理。

臺(tái)式緊湊，您可以有效利用實(shí)驗(yàn)室的有限空間。

特征

三種類型的爐子加熱器/絕緣材料擴(kuò)大了碳爐的應(yīng)用范圍。

• C/C復(fù)合加熱器

• SiC3（碳化硅）涂層加熱器

• TiC3（碳化鈦）涂層加熱器

多功能功能集成在緊湊的機(jī)身中

• 節(jié)省空間：889（闊）x 503（深）x 629（高）mm

• 圓柱形加熱器（用于坩堝）、平面加熱器（用于晶圓燒制）

• 聯(lián)鎖（冷卻水、腔室表面溫度/加熱器過溫、真空度、腔室打開/關(guān)閉）

• PLC半自動(dòng)操作：（抽真空/吹掃x 3循環(huán)排氣）

• 觀察視口（可選）



編程溫度控制器、觸摸屏 HMI、數(shù)字真空計(jì)和加熱器斷路器軟件等顯示器緊湊地安裝在前操作面板上。
● 溫度控制器：Eurotherm“nanodaq"或RKC PF900 ● 數(shù)字真空計(jì)：MKS微型皮拉尼壓力計(jì)
● 觸摸屏：西門子SIMATEC HMI（或三菱）