智能真空計(jì)SC-10的原理及操作使用

發(fā)布日期：2022-07-15      瀏覽次數(shù)：2061

智能真空計(jì)SC-10簡述

SC-10智能真空計(jì)是我們開發(fā)的一種全新的方法，它是一種自動真空計(jì)，可以同時(shí)測量殘余氣體成分和全壓真空度。
全壓真空是從大氣壓到10-7Pa的超高真空，當(dāng)總壓達(dá)到50Pa左右時(shí)，氣體成分的分壓自動啟動，可以從10-5Pa左右測量到10- 6帕。
可以測量氣體成分并檢查粗壓區(qū)域的泄漏，這是傳統(tǒng)氣體分析儀無法做到的。

智能真空計(jì)SC-10原理



頻譜模式屏幕

SC-10 通過測量總壓力的冷陰極計(jì)的放電顏色來區(qū)分氣體成分。利用光的顏色（波長）根據(jù)氣體成分而不同的事實(shí)來測量成分。在 SC-10 的光譜模式屏幕上也可以看到氣體成分的波長。

由于氣體成分測量單元設(shè)置在大氣壓側(cè)，因此不會被真空中的氣體污染，可以進(jìn)行不受污垢影響的測量。此外，冷陰極規(guī)沒有燈絲，因此可用于堅(jiān)固耐用的應(yīng)用。

　　　　




智能真空計(jì)SC-10操作使用

由于智能真空計(jì)可以測量殘余氣體的成分，因此可以快速了解真空裝置的良好狀況，例如排氣中途的泄漏和水蒸氣脫氣等。下兩圖是同一裝置的不同排氣數(shù)據(jù)，但圖一為正常排氣，以水蒸氣為主要成分，確定總壓真空度，而圖二中，氮?dú)鉃樾孤┧?。可以看出，從開始下降排氣約 5 分鐘后停止，如果繼續(xù)排氣，則在約 10 分鐘后氮?dú)饬孔兊帽人魵舛啵倝毫φ婵胀Ｖ?。通過使用智能真空計(jì)，您可以快速找出僅通過監(jiān)測全壓真空度無法理解的排氣異常及其原因。



圖1





圖 2



您不僅可以使用智能真空計(jì)找到泄漏點(diǎn)，還可以噴灑氦氣或氬氣來查找泄漏點(diǎn)。圖 3 顯示了智能真空計(jì)在泄漏點(diǎn)噴氬時(shí)的數(shù)據(jù)，但可以看出，由于氬氣增加和氮?dú)鉁p少，此處存在泄漏。停止泄漏后，如圖4所示，氮?dú)夂脱鯕鉁p少，水蒸氣成為主要成分，成為典型真空裝置的殘余氣體成分。



圖 3





圖 4

只需打開它并將其連接到您的PC，無需其他操作。SC-10內(nèi)置的全量程真空計(jì)測量從大氣壓到超高真空的總壓力，當(dāng)總壓力達(dá)到約50Pa時(shí)，自動開始?xì)埩魵怏w成分的測量（分壓測量）。
不用擔(dān)心，當(dāng)您恢復(fù)到大氣壓時(shí)，氣體成分測量會自動關(guān)閉。